ASME B89.1.8-2011 位移测量激光干涉仪性能评估

作者:标准资料网 时间:2024-05-13 05:52:08  浏览:8241   来源:标准资料网

【英文标准名称】:PerformanceEvaluationofDisplacement-MeasuringLaserInterferometers
【原文标准名称】:位移测量激光干涉仪性能评估
【标准号】:ASMEB89.1.8-2011
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:2011
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国机械工程师协会(US-ASME)
【起草单位】:ASME/B89
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:角度测量;尺寸计量;位移;评估;干涉仪;激光工程;激光设备;激光器;线性测量;测量、检验和仪器;测量;测量仪器;计量学;光电子学;性能
【英文主题词】:Angularmeasurement;Dimensionalmetrology;Displacement;Evaluation;Interferometers;Laserengineering;Laserequipment;Lasers;Linearmeasurement;Measurement;Measuring;Measuringinstruments;Metrology;Optoelectronics;Performance
【摘要】:ThisStandardestablishesrequirementsandmethodsforthespecification,evaluation,setup,anduseoflaserinterferometers.ThisStandardwillexplicitlydiscussonlysingle-passopticsandasingleaxisoflineardisplacementmeasurement.
【中国标准分类号】:N13
【国际标准分类号】:17_040_30;31_260
【页数】:60P;A4
【正文语种】:英语